未来宝日本株式会社

事業について

お客様にとってベストな企業
お客様にとって最良のパートナーを目指し「ベストプロダクト」「ベストサービス」を提供します。
満足度向上のため絶えず創造し、ベストを尽くす企業であり続けます。

2003年韓国にてMILAEBO  TECH設立。
2005年MILAEBO  CO.,Ltdとして法人設立。
2013年にMILAEBO  JAPAN  CO.,Ltdを設立。
岩手県北上市にも拠点を設け、業務拡大を推進。

日本法人設立後、国内知名度を上げ、現在では国内を代表する半導体メーカーより厚い信頼関係を寄せられています。
グループ全体では世界各国の半導体メーカーと取引をしており、業界内での存在価値を確立しています。

主要生産品目

Trapとは何か?

Trapは半導体製造プロセスにおいて発生する副産物(Byproduct)を捕集する装置です。
配管の詰まりを防止し、PumpとScrubberを保護します。
装置全体としての安定稼働、安定したprocessにお役に立てることができます。

Products

TiN Trap Line-up

Model	MLBTR-H50V4	MLBTR-H50V9	MLBSF-100V2	MLBACE-T1
Appearance
Trap Location Position	Machine Inside	Machine Inside	Sub Fab.	Middle Fab.
Dimension (W*D*H mm3)	480*320*390	580*380*395	Φ260*390.5	480*480*1050
Trap Volume (L)	44	66	19	180
Trap Weight (kg)	49	55	19	118
Used TiCl4 amount (sccm)	‹ 50	‹ 100	‹ 100	› 100
Trapping By-Product Weight (Avg.kg)	≒ 15	≒ 25	≒ 4	≒ 80
Inner Cooling Line(Y/N)	Y	N	N	N

Mantle Heater(Heating Jacket)

1. Gas Line 內 Liquide Source Vaporize & Temperature 維持
2. 真空配管内の工程の副産物蒸着防止（工程の副産物逆流拡散防止）

写真	装着 Position	特徴
	Chamber Gas Box Process Gas Line Pneumatic Valve M.F.C	1. 断熱材及び熱線一体化 – 断熱効果の最大化 – Temp 均一性▲ 2. 脱着、付着が容易/軽量化 – Maintenance容易性▲ 3. Life Time Up – 1Year -> 3years 増加 4. Energy Saving – 100 [watt] -> 60 [watt] 5. 使用温度に合わせ材料を選択 – Teflon Coated Glass Cloth (260 / 280℃) – Super Glass Mat ( 650℃) – Silica Cloth (400℃)
	Foreline 設備 ~ Dry Pump Dry Pump Exhaust Scrubber内部
	設備内部 Throttle Valve Gate Valve

Mantle Heater (Heating Jacket) Introduction – Component

使用の条件 / Part	Inner Cloth (内皮)	Carrier (熱線シート)	Insulation (保温材)	Outer Cloth (外皮)	Fastener (ファスナー)	Thermostat	Thermal Fuse
Set Temp. 40℃~200℃ (Max. 200℃)	Teflon Coated Glass Cloth G213F (耐熱260℃)	Teflon Coated Glass Cloth S-0413 (耐熱280℃)	Super Glass Mat 10t ~ 20t (耐熱650℃)	Teflon Coated Glass Cloth G213F (耐熱260℃)	Hook & Loop D-Ring	80 ℃ ~ 240 ℃	240℃ ~ 280℃
	PTFE 100%  (耐熱260℃)			PTFE 100%  (耐熱260℃)
	Teflon Coated Glass Cloth S-0413 (耐熱280℃)			Teflon Coated Glass Cloth S-0413 (耐熱280℃)
Set Temp. 210℃~240℃ (Max. 240℃)	Teflon Coated Glass Cloth S-0413 (耐熱280℃)	Teflon Coated  Glass Cloth S-0413 (耐熱280℃)	Super Glass Mat 15t~20t (耐熱650℃)	Teflon Coated Glass Cloth S-0413 (耐熱280℃)	D-Ring	260℃	280℃
		Silica Cloth SC-400HT (耐熱400℃)
Set Temp. 250℃~300℃ (Max. 300℃)	Silica Cloth SC-400HT  (耐熱400℃)	Silica Cloth SC-400HT (耐熱400℃)	Super Glass Mat 20t~30t (耐熱650℃)	Silica Cloth SC-400HT (耐熱400℃)		350℃	–

Mantle Heater (Heating Jacket) Introduction – Controller

Spec. / CHANEL	1CH	8CH	16CH	32CH
IMAGE
入/出力電源	AC100~240V / 50~60Hz	단상 AC220V 50A / 50~60Hz	3상 AC220V 100A / 50~60Hz	3상 AC220V 175A / 50~60Hz
制御出力	SSR出力, MAX. 5A	SSR出力,  5A / Ch.	SCR出力, 7A / Ch.	SCR出力, 7A / Ch.
表示程度/設定方式	3 Digit / 1℃ Display	4 Digit / 1℃ Display	Touch Screen Display	Touch Screen Display
Multi Set Value	None	OK	OK	OK
消費電力確認	None	OK	OK	OK
通信方式	RS232 or RS485	RS485	RS485	RS485
Alarm	Display表示	Buzzer & Signal Tower	Buzzer & Signal Tower	Buzzer & Signal Tower
SIZE / WEIGHT	71 X 31 X 53mm 0.1kg	490 X 300 X 350mm 23kg	650 X 400 X 450 mm  37kg	660 X 600 X 1405 mm, 101kg
温度補正機能	Offset  ± 99℃	Offset  ± 999℃	Offset  ± 10℃	Offset  ± 10℃
Thermocouple	熱電対‘K’ Type
制御精密度	Set Value ± 1℃ 以内
制御方式	PID (Proportional Integral Derivative)制御
安定化時間	初期Ramp. Up Time 25~30分以内,負荷変動時には 5分以内(負荷は流体の流れを意味する)
使用周囲環境	0 ~ 60℃ / 35 ~ 65%R.H 以下

認証及び特許

主要認証

環境安全認証

特許

主要取引先